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第三百零三章 表彰重奖（第1页）

阳威力通过对讲机沟通，让一位名为柏巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，廉安平教授亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。

见状，刘焱出声询问道：

“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF（氟化氪）准分子激光作为光源？”

乌光辉回答道：

“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”

这台光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，柏巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。

按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但廉安平教授和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ARM1芯片。

维创电子公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。

随机配送的《C级玛丽》和《G夫小子》两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。

游戏掌机热销，作为主控芯片的ARM1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间，提升速度非常缓慢。

经过蒙小刚、廉安平教授以及几个相关领域的专家研究分析，认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。

晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。

廉安平教授亲自动手，使用专用夹具，将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器，拿去芯片生产线那边，去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的ARM1芯片。

刘焱、乌光辉、廉安平教授等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试。

半小时后，所有芯片测试完成，廉安平教授对测试结果进行了汇总，最后宣布道：

“此次一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片。

经全面测试，合格产品共1203枚，合格率为68.7%。也就是说，咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机，第一次开机测试生产，就成功了，且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台佳能和尼康光刻机的加工水平。”

听完廉安平教授的发言，刘焱带头鼓掌，其他维创电子公司高管和研发人员，以及其他负责封装测试的员工也很快跟上，现场爆发出一阵热烈的掌声。

“没想到，新设备第一次光刻测试就成功了，廉教授他们这些人真是牛。”

“那是当然，光刻机研发实验室是咱们维创电子公司和Z科院半导体研究所、深镇大学，共同合作建立的，里面工作的研究员，学历最低的也是硕士研究生，能不厉害吗。”

“芯片生产线最核心的设备光刻机研发成功了，其他相关设备的研发难度就低多了，也许咱们维创电子公司有一天，可以生产整条芯片生产线上的所有设备。”

“没那么容易，整条芯片生产线上的设备太多了，咱们维创电子不可能分心生产这么多的东西。”

“第一次光刻测试，产品合格率就达到了68.7%，再做一些参数优化，将合格率提升到70%、80%，也不是不可能。”

接下来，刘焱和廉安平教授等人去食堂吃了一餐迟来的午饭，然后返回无尘车间，对光刻机进行进一步的测试，包括极限加工精度测试，最高光刻速度测试，长时间压力测试等等。

此后半个月，又有两台维创电子公司自产的一微米光刻机加入测试，随着设备参数的不断修改优化，一些零配件的小修小改，生产的芯片合格率已经提升到了81%。作为一家刚刚成立不到半年的晶圆工厂，这个合格率已经相当高了。

11月中旬，维创电子公司和Z科院、深镇大学，合作研发的一微米光刻机正式定型量产。

为此，三家单位特意举行了一个表彰大会，还叫来了几名报刊杂志和电视台的记者，对此进行报道。

在这次的表彰大会上，对光刻机研发小组全体成员进行了通报嘉奖，所有人都获得了维创电子公司提供的一万到十万不等的奖金。

在GGKF之初的八零年，RMB可是非常的坚挺，万元户即使在特区深镇也是凤毛麟角的存在。

如今一大批搞光刻机研发的技术人员，轻轻松松成为万元户，甚至十万元户，造成的轰动效果可想而知。

消息见报不到一周，维创电子公司就接到了五台一微米光刻机订单，都是内地的几大电子研究所订购的，用于国产芯片的研发制造。

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